仪器设备

仪器基本信息 查看联系方式

仪器图片
• 设备名称
  紫外光刻机
• 制造厂商
  URE
• 规格型号
  品牌型号：URE－2000/35
• 所属单位
  中国科学院深圳先进技术研究院
• 收费标准
• 性能参数

   

  【性能参数】 光源：350W球形汞灯 谱线：I线 照明均匀性：强度误差3％ 对准精度/分辨率：0.8μm 曝光面积： 100×100mm

• 主要功能与用途

   

  【功能用途】 主要用于中小规模集成电路、分离元器件和其它各种半导体元器件制造工艺中的对准及曝光光刻。