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    • 设备名称
      纳米印压机
    • 制造厂商
      Imprint Nano
    • 规格型号
      品牌型号：Imprint Nano YPL-NIL-SI400
    • 所属单位
      中国科学院深圳先进技术研究院
    • 收费标准
      1. 性能参数

         

        【性能参数】
        温度范围从室温到350℃；
        压力范围从0到20个PSI（在4英寸晶元上）；
        紫外曝光系统；
        真空范围从1个标准大气压到0.1Pa；
        水冷系统；
        样品尺寸直径最大4英寸；
        PLC远程控制，带触摸屏；
        手动装载样品和模板；
        自带机器控制软件；
        在软件控制下可实现自动增加和释放压力；
      2. 主要功能与用途

         

        【功能用途】
        用于微纳模板的复制和微纳结构的加工，适用于半导体制备、微电子光电子加工、微光学器件加工、生物医药微生物载体、生物检测、微流芯片等领域。